CGS-MT光電氣綜合測(cè)試平臺(tái)適用于毫米級(jí)別材料或器件（傳感器、探測(cè)器、晶體管等）的原位測(cè)試及綜合特性分析。平臺(tái)通過(guò)一體化的電學(xué)、探針、微腔體、靜態(tài)配氣設(shè)計(jì)，可提供精準(zhǔn)的電學(xué)檢測(cè)、靈活的探針連接、精準(zhǔn)的溫度調(diào)節(jié)、便捷的氣氛控制；集成雙源表測(cè)試系統(tǒng)，支持兩線或四線測(cè)試，支持雙通道測(cè)試；平臺(tái)包含的原位高溫臺(tái)可與拉曼光譜儀或顯微鏡聯(lián)用，在電學(xué)測(cè)試的同時(shí)進(jìn)行光譜或顯微的原位分析；平臺(tái)的微小腔體結(jié)構(gòu)特別適合連接濕度可控的氣液配氣系統(tǒng)，在實(shí)現(xiàn)腔室內(nèi)的氣氛濃度及濕度的快速更替與平衡的同時(shí)，用于氣敏、濕敏等性能的在線檢測(cè)；平臺(tái)支持搭配LED光源或者外接光路，進(jìn)行光敏、光電、光敏氣敏等相關(guān)研究；平臺(tái)支持連接真空泵，用于真空或不同氣壓下的性能測(cè)試。

產(chǎn)品特色

01）定制化的傳感器連接方式和數(shù)量

02）微型氣室，有利于響應(yīng)恢復(fù)速度的準(zhǔn)確測(cè)量

03）配置雙源表系統(tǒng)，支持雙通道測(cè)試

04）便于觀察樣品的觀察窗，材質(zhì)可選配，支持與光譜儀或顯微鏡聯(lián)用

05）測(cè)試系統(tǒng)可設(shè)置溫度、濕度等參數(shù)，可記錄環(huán)境信息（溫度、濕度、壓力等，可定制）

06）支持氣體傳感器測(cè)量和標(biāo)定，溫度傳感器測(cè)量和標(biāo)定

07）平臺(tái)控溫，敏感材料或元件無(wú)需制作加熱電極

08）高屏蔽性能，可連接各種分析系統(tǒng)及源表，支持傳感器、晶體管、探測(cè)器等測(cè)試

主要技術(shù)指標(biāo)

1、電學(xué)分析系統(tǒng)

     01）雙源表配置，支持雙通道測(cè)試，四線或兩線測(cè)量

     02）電流范圍：100 pA~200 mA；電阻測(cè)量范圍：1Ω~10GΩ；電壓范圍：±200 mV~±10 V

     03）電學(xué)特性轉(zhuǎn)換為傳感器信號(hào)，氣體傳感器測(cè)量和標(biāo)定，溫度傳感器測(cè)量和標(biāo)定

     04）測(cè)試模式： I-t，R-t，V-t，I-V，V-I 等

     05）SMA接口，SMA轉(zhuǎn)BNC測(cè)試線，控溫的同時(shí)可進(jìn)行電學(xué)信號(hào)測(cè)試

     06）試用范圍：材料研究，半導(dǎo)體器件分析（傳感器、晶體管、二極管、功率半導(dǎo)體、LED等），電子電路測(cè)量等應(yīng)用

2、原位池主要參數(shù)

     01）可用于連接電學(xué)測(cè)量設(shè)備和拉曼光譜或者顯微鏡等設(shè)備以進(jìn)行電學(xué)信號(hào)與光譜表征的原位同步測(cè)量

     02）控溫范圍：室溫~500℃，含水冷快速接頭，上下一體水冷

     03）兩路反應(yīng)氣接口和一路真空接口，可通過(guò)卡套、快插與配氣系統(tǒng)及真空泵相連接

     04）探針座及夾具：4套

     05）BNC接頭：4個(gè)；支持雙通道測(cè)試

     06）腔室體積：約100mL

     07）石英窗口，直徑約30mm

     08）腔室體積：約150mm*150mm*40mm

 3、靜態(tài)配氣模塊

     01）體積約1L，與小腔體配合使用，支持靜態(tài)配氣

     02）配置液體蒸發(fā)器，溫度：室溫~250oC

     03）內(nèi)置風(fēng)扇

4、LED光激發(fā)模塊

     01）配置準(zhǔn)直LED光源，波長(zhǎng)365-370nm，可選配波長(zhǎng)440-450nm、520-530nm、660nm等；其他波長(zhǎng)可定制

     02）配置LED驅(qū)動(dòng)器支持最大驅(qū)動(dòng)電流1200mA

     03）設(shè)計(jì)與光電氣綜合測(cè)試平臺(tái)聯(lián)用的支架

5、可擴(kuò)展功能

    01）與光譜儀（如紅外、拉曼、紫外），將光譜分析與電學(xué)測(cè)試結(jié)合

    02）與顯微鏡聯(lián)用，將顯微與電學(xué)測(cè)試結(jié)合

    03）腔室外定制光路，定制光源的同步調(diào)控

    04）與真空泵聯(lián)用，進(jìn)行低壓測(cè)試

    05）與濕度控制的配氣系統(tǒng)聯(lián)用，用于腔室氣氛和濕度控制；選配環(huán)境監(jiān)測(cè)腔，支持環(huán)境溫濕度實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)